책소개

『반도체 생산공정관리』는 부천대학교 전자과에서 산업수요맞춤형 교육과정 운영지원사업의 일환으로 기술한 책이다. 반도체 생산공장에서 운영되고 있는 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 유지 점검하고, 고장을 방지하게 위한 사전 예방활동 등을 수행도록 실무 지식을 소개한다. 반도체장비 제조운영 기술자 양성에 도움이 될 것이다.

저자소개

목차

Part 1 반도체 생산 설비 관리
Chapter 01 반도체 FAB(Fabrication Facility)
Chapter 02 반도체 설비
Chapter 03 반도체 설비 안전
Chapter 04 반도체 전기 설비
Chapter 05 반도체 화공 설비
Chapter 06 반도체 환경

Part 2 반도체 생산 관리
Chapter 01 작업지시서의 이해
Chapter 02 샘플링(Sampling) 공정의 이해
Chapter 03 청정도 요인의 이해
Chapter 04 방진복/방진화 사용목적의 이해
Chapter 05 장비가동율의 이해
Chapter 06 장비 PM(Preventive Maintenance)의 이해

Part 3 반도체 공정 및 장비
Chapter 01 포토 공정의 이해
Chapter 02 식각 공정의 이해
Chapter 03 확산 공정의 이해
Chapter 04 박막증착 공정의 이해
Chapter 05 세정 및 CMP 공정의 이해
Chapter 06 계측기의 원리 이해
Chapter 07 반도체 품질관리 및 수율